掃瞄頭

高解析(10μm)

樣品尺寸

6 mm

最大培養皿高度(液體的水平高度)

6 mm

手動靠近(approach)範圍

30 mm

自動靠近(approach)範圍

1.1mm

最大掃瞄範圍

10 μm (±5%)

最大z軸的範圍

3 μm (±5%)

Z解析度

0.046 nm

XY解析度

0.152 nm

XY線性平均誤差

<0.1%

XY平面最大掃瞄極限

1 nm

Z測量干擾程度(空氣中靜態模式)

0.15 nm

Z測量干擾程度(空氣中動態模式)

0.06 nm

掃瞄頭的尺寸

143×158×53 mm

掃瞄頭重量

1.25 kg